鋁銅靶材很堅硬，熔點是640℃，一般是1~3%的銅組成，跟金屬鋁的化學(xué)性質(zhì)相似，輕而抗張強度大。鋁銅的主要性能特點是室溫和高溫力學(xué)性能高，鑄造工藝簡單，切削加工性能好，耐熱性能優(yōu)良。鋁銅合金靶材在集成電路制造中具有重要作用。
鋁銅靶材特征 鋁銅靶材形狀：平面靶、異型定制 鋁銅靶材純度：3N，4N，5N 鋁銅靶材尺寸：按圖紙加工或其他者定制 我們還可以提供鋁銅合金塊、鋁銅合金板、鋁銅合金棒等 鋁銅合金靶材制備工藝 將銅含量為0.1-3wt％的鋁銅靶坯進(jìn)行預(yù)熱，預(yù)熱的溫度為750-850℃，預(yù)熱的時間為5-30min； 將預(yù)熱好的鋁銅靶坯進(jìn)行3次三向鍛造，第一鍛造，鍛造的溫度為750-850℃，變形量為40-60％，鍛造后的鋁銅靶坯沿x軸方向拔長至第一鍛造前的長度；第二鍛造的溫度為750-850℃，變形量為40-60％，第二鍛造后的鋁銅靶坯沿y軸方向拔長至第二鍛造前的長度；第三鍛造的溫度為750-850℃，變形量為40-60％，第三鍛造后的靶坯沿z軸方向拔長至第三鍛造前的長度,且x軸方向、y軸方向和z軸方向中的任意兩個方向相互垂直,三向鍛造的鍛造比為1.5-2.5； 而后，進(jìn)行熱處理，熱處理的溫度為300-400℃，處理的時間為30-90min。水冷后，在溫度為10-30℃進(jìn)行冷壓，控制冷壓變形量為30-50％； 然后在10-30℃進(jìn)行冷軋，冷軋時，每道次的下壓量為10-20mm，冷軋控制變形量為60-85％； 后校平，經(jīng)機加工，得到鋁銅合金靶材。 該方法制備的鋁銅靶材，品粒分布均勻、晶粒尺寸≤100um,同時簡化了工藝流程,縮短了加工周期,提高了生產(chǎn)效率。 上圖是鋁銅合金靶材的材質(zhì)單 鋁銅合金靶材應(yīng)用 鋁銅合金靶材主要用于集成電路、太陽能電池、平板顯示等領(lǐng)域。 在集成電路領(lǐng)域，它被用于制作互連線和布線，以提高電路的性能和可靠性； 在太陽能電池領(lǐng)域，它被用于制作電極和背電極，以提高電池的效率和壽命； 在平板顯示領(lǐng)域，它被用于制作薄膜晶體管和光電器件，以提高顯示的亮度和分辨率。 鋁銅合金其他應(yīng)用 航空航天領(lǐng)域：由于其密度低、導(dǎo)熱性能好、強度高且具有良好的抗腐蝕性，鋁銅合金常用于制造航空器的結(jié)構(gòu)件，如機翼、機身和尾翼。此外，也可用于制造渦輪葉片、渦輪機殼和噴氣發(fā)動機的排氣系統(tǒng)等關(guān)鍵部件。 汽車制造領(lǐng)域：鋁銅合金在汽車行業(yè)中用于制造汽車零部件，以減輕車輛重量，提高燃油效率和性能。 電力及電子領(lǐng)域：作為優(yōu)質(zhì)的導(dǎo)電材料，鋁銅合金被廣泛應(yīng)用于高速電纜、導(dǎo)線和電路板的生產(chǎn)。在電子元器件制造中，鋁銅合金也用于芯片散熱器和封裝材料等。 建筑裝飾領(lǐng)域：鋁銅合金因其美觀和耐用的特性，也可用于建筑裝飾面板等應(yīng)用。
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